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      多晶硅還原鐘罩清洗

      時間:2019/7/8 15:50:32

                  鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠,常常導致硅芯擊不穿或產品質量污染,所以鐘罩清洗設備對多晶硅生產非常重要。多晶硅還原爐鐘罩清洗系統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統、循環過濾系統、控制裝置、微負壓系統、清洗工作臺、電氣控制系統等,系統實現了鐘罩的全自動清洗和烘干操作,具有節能、環保、安全的特點。以高壓水射流為動力,以水力自驅動三維洗罐器為噴頭,形成360°的網狀噴射表面,完成鐘罩內部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。用經過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,梯級加熱,保證烘干完的鐘罩不再結露,方可直接進入生產作業。

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